工业运用场合的不断扩大，某些生产厂家研制出了专门使用于工业场合的工业伺服阀。如Moog公司就在1963年推出了*款专为工业场合使用的73系列伺服阀产品。随后，越来越多的专为工业用途研制的伺服阀出现了。它们具有如下的特征：较大的体积以方便制造；阀体采用铝材（需要时亦可采用钢材）；独立的*级以方便调整及维修；主要使用在14MPa以下的低压场合；尽量形成系列化、标准化产品。然而Moog公司在德国的分公司却将其伺服阀的应用场合主要集中在高压场合，一般工作压力在21MPa，有的甚至到35MPa，这就使阀的设计专重于高压下的使用可靠性。而随着伺服阀在工业场合的广泛运用，各公司均推出了各自的适合工业场合用的比例阀。其特点为低成本，控制精度虽比不上伺服阀，但通过先进的控制技术和先进的电子装置以弥补其不足，使其性能和功效逼近伺服阀。1973年，Moog公司按工业使用的需要，把某些伺服阀转换成工业场合的比例阀标准接口。Bosch研制出了其标志性的射流管先导级及电反馈的平板型伺服阀

PARKER变量泵主要用在电气液压伺服系统中作为执行元件（见液压伺服系统）。在伺服系统中，液压执行机构同电气及气动执行机构相比，具有快速性好、单位重量输出功率大、传动平稳、抗干扰能力强等特点。另一方面，在伺服系统中传递信号和校正特性时多用电气元件。因此，现代高性能的伺服系统也都采用电液方式，伺服阀就是这种系统的必需元件。美国PARKER派克PVS系列变量叶片泵结构比较复杂，造价高，对油的质量和清洁度要求高。新型的伺服阀正试图克服这些缺点，例如利用电致伸缩元件的伺服阀，使结构大为简化。另一个方向是研制特殊的工作油（如电气粘性油）。这种工作油能在电磁的作用下改变粘性系数。利用这一性质就可通过电信号直接控制油流。

美国进口PARKER派克PVS系列变量叶片泵按结构分为滑阀式、喷嘴挡板式、射流管式、射流板式和平板式等；按输入信号可分为机液伺服阀、电液伺服阀和气液伺服阀。机液伺服阀是将小功率的机械动作转变为液压输出量（流量或压力）的机液转换元件。机液伺服阀大都是滑阀式结构，在船舶的舵机、机床的仿形装置、飞机的助力器上应用*。电液伺服阀是将电量转变成液压输出量的电液转换元件，出现於1940年。到50年代，这种元件的结构趋於成熟。随著电子技术和计算机技术的发展，电液伺服系统的性能得到显著改善，大大优於其他的液压伺服系统，因而得到广泛应用。电液伺服阀的内部结构可分滑阀位置反馈、载荷压力反馈和载荷流量反馈；阀的级数可分单级、双级和多级。在电液伺服阀中，将电信号转变为旋转或直线运动的部件称为力矩马达或力马达。力矩马达浸泡在油液中的称为湿式，不浸泡在油液中的称为乾式。其中以滑阀位置反馈、两级乾式电液伺服阀应用zui广。

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